来源:Park Systems
SEMICON CHINA 2024将于3月20-3月22日在上海举办,连续参展的Park Systems将以“创新 卓越 优质”为主题,携旗下的核心产品重磅亮相此展览会。
公司简介速览
Park Systems成立于1988年,是全球首个推出商业原子力显微镜产品的上市公司。Park公司成立30多年来,始终致力于纳米领域的形貌 力学测量和半导体先进制程工艺的计量的新技术新产品的开发。其纳米计量系统(包括 AFM 和椭偏仪)被半导体、电子、材料科学、生命科学等众多行业的研究人员和科学家广泛使用。
Park Systems为半导体制造计量、器件失效分析以及各种工业应用提供了一系列自动化原子力显微镜。其产品组合能够满足半导体和显示行业的需求,提供对纳米级结构的精准控制和测量,这对于器件制造和性能提升尤为重要。Park原子力显微镜技术所提供的测量准确性、重复性和全面性显著提高了制成效率,并提升了终端产品的质量。
核心产品抢“鲜”看
ParkNX-Wafer
用于半导体晶圆制程
·为FA和研究实验室提供精准的原子力显微镜解决方案
·实现高量率的精准且高重复性的测量
·低噪声Z探测器可精确测量原子力显微镜表面形貌
·使用真正非接触模式扫描方式,实现样品无损检测
ParkNX-3DM
自动化工业AFM用于高分辨率三维计量
·专为凹陷和悬垂结构的侧壁分析进行了优化
·采用创新设计的旋转扫描器,实现精准的3D计量
·能够在精细的光刻胶表面进行非破坏性测量
ParkNX-eAFM
·通过C-AFM和EFM实现晶圆级电学分析
·面向纳米器件的电测试解决方案和纳米成像能力
·对薄膜击穿电压及相关特性、阈值电压的成像
ParkNX-Mask
用于半导体光掩模修复
·紧密集成到产线过程中,实现即时、无缝修复
·自动化原子力显微镜用于表面粗糙度和图案步高测量
·兼容自动化双POD系统,用于EUV掩模处理
·综合解决方案,用于缺陷检测和修复后验证
·准确、无损的机械缺陷去除
ParkNX-Hybrid WLI
AFM和WLI联用技术,Park NX-Hybrid WLI 应运而生!
·它结合了顶级的半导体计量技术:白光干涉仪(WLI)和原子力显微镜(AFM)
·WLI和AFM一起在范围、分辨率和速度方面表现出色
·两个物镜可通过电动线性镜头更换器自动更换
ParkNX-TSH
用于大型平板显示器计量
·专为建立下一代平板显示器生产工厂的制造商而开发
·用于OLED、LCD和2D编码器样品的全自动探针扫描头
·为OLED、LCD和光掩模提供可靠且高分辨率的AFM图像
·克服了样品尺寸和重量的限制
售后服务优质暖心
点击链接观看视频:https://mp.weixin.qq.com/s/vPTuWQEJR8zqBt0aZRvvNw
和客户对接中,工程师能积极参与工厂的生产规划环节,再根据中国市场情况,去工厂对客户的设备需求进行出厂检查以及调试。如有需要,我们的工程师还会陪同客户去工厂对设备进行预验收。
当问题出现时,客户可以通过电话、微信、网络留言等多种方式联系到我们。如果条件允许,我们不仅可以进行视频协助,甚至可以派遣就近人员上门处理。在中国,我们的备件仓库可以实现80%以上的本土维修。
在Park Systems,我们致力于向全球客户提供高水准的服务质量,并提供全面的技术支持,帮助客户实现他们的目标。我们的专业技术团队随时提供Park原子力显微镜安装、操作等相关方面的帮助。我们承诺及时、有效地解决客户的相关疑问。
400-878-6829
www.parksystems.cn
Park北京分公司
北京市海淀区彩和坊路8号天创科技大厦518室
Park上海实验室
上海市闵行区丰虹路199号德必虹桥国际WE 5号楼118
Park广州实验室
广州市天河区五山路200号天河北文创苑B座211
【近期会议】
3月20-22日,期待与您再聚SEMICON China(展位号:T2425) 慕尼黑上海光博会(展位号:OW7馆7125)欢迎您参加视频专访栏目,说品牌故事,聊产品技术;谈未来发展。您的精彩访谈将出现在我社各矩阵渠道宣传展示。有兴趣的朋友可点击查看活动详情:https://w.lwc.cn/s/zy2MBr
3月29日14:00,雅时国际商讯联合Park原子力显微镜、蔡司显微镜、九峰山实验室即将举办“缺陷检测半导体材料和器件研发和生产的利器”专题会议,助力我国宽禁带半导体行业的快速健康发展!诚邀您参与交流:https://w.lwc.cn/s/IJnYR3